關於我們 聯絡我們


 
 

周復初

機械工程學系
學經歷:
  學歷:
國立清華大學動力機械工程學系 博士
國立清華大學動力機械工程學系 碩士
國立清華大學動力機械工程學系 學士

經歷:
現任職:國立中央大學機械工程學系 教授
曾任: 國立中央大學機械工程學系 副教授
國立清華大學動力機械工程學系 講師


專業技術
  TFT-LCD製程、半導體製程、微系統熱流 (微機電系統 )
   
研發介紹
  ◎ 化學機械研磨
  完成了化學機械研磨(CMP)的流體數值模擬[1],該成果品首創使用研磨液表面剪力的晶圓尺度平均值及非均勻度以模擬晶圓在CMP之研磨率及非均勻度,並由模擬成果可預測8吋及30Omm(12吋)晶圓之最佳研磨墊轉速及品圓轉速,該成果一方面提供了對CMP更深入且系統化的認識,也可用以分析製程性能及預測最佳之工作參數。
完成了化學機械研磨(CMP)的研磨液流體實驗模擬[2,3],找出通用的最佳之研磨液注入位置及注入速率等工作參數,也可用以分析製程性能及預測300mm(12吋)或更大尺寸品圓之最佳工作參數。"
  ◎ 微熱點控制
  "微小化是微電子及微光電系統的趨勢,然而隨著尺寸越來越小 其散熱之問題亦相形重要。但是目前應用於微小熱點冷卻之各種冷卻方法,諸如:熱電冷卻法、微熱管冷卻、微管流冷卻等等,因受限於尺寸或是材貿而難有理想之冷卻效率。本研究乃探用後小液滴作主動式的冷卻,即利用冷卻介質之相變化,直接帶走微小熱點上的熱而達到冷卻目的,以期能在微小光機電
元件之冷卻工程上有更新的突破。
為了研究微小熱點之冷卻,本研究使用已商業化之噴墨頭所噴出的單一微小液滴及連續液滴,兩種不同之冷卻方式來冷卻熱輻射感測器,此感測器可輸入不同之電流,藉此以模擬不同溫度之微小熱點。另外,藉由量測熱輻射感測器之電阻變化,亦可得知其上之溫度變化。由以往之實驗結果顯示:使用單一微小液滴冷卻時,微小液滴之蒸發時間僅需數百毫秒,且微小熱點冷卻後之最大溫度降可達20°C,而冷卻後溫度可約略低於室溫5°C。當便用5Hz的連續液滴冷卻時,液滴不但不會堆積於微小熱點之上,且可將彼小熱點持續維持在較低之溫度。"
  ◎ 光阻減量
  "半導體晶片製作過程(Wafer Fabrication)中以微影製程(Lithography)為最重要之關鍵所在,晶片中各種電路品質之優劣幾乎全賴此製程結果加以決定,而微影製程之圖案轉移乃是依靠晶圓上塗覆一層極薄之感光材料來進行光罩圖案之轉印,此感光材料即所稱之光阻液(Photoresist),此材料之塗佈好壞對製程結果有相當重要之影響,尤以製程線寬要求越來越微細之情況下其塗佈結果更加要求,且光阻液之價格極為昂貴,以10cP之正光阻液為例:每公升約需成本台幣24萬元左右,扣除耗損,每片六吋晶圓每層用量約2c.c.,換算成本約台幣500元,其成份構成為高分子之醇類溶液,每一晶片之電路層數決不只十層,製造過程其所造成之氣體污染亦相當大,所要求之後續廢氣虔理費用亦相當可觀 故若能縮減其製程上之使用量,不但能降低晶片製造成本,同時對環境污染影嚮亦能大量減少。為達成光阻液於晶圓表面均勻塗佈之目的,製程上多採用旋轉塗佈(Spin Coating)之技術加工施作 施作之機械即所謂旋塗加工機(Spin Coater),該機械之製程操作參數(Recipe)包括:注液流率(Flow Rate)及注液量(lnjection Volume)---.等,但其製程參數之設定係由原機械製造商所提供,並無任何理論基礎,鑑於上述之成本及環保考量,遂委請周復初教授進行研究,期能在達成光阻液膜完整塗覆之前提下,調整製程參數之設定 而達成減少光阻液使用量為目的。
  ◎ 光阻旋塗平坦度
  "完成了光阻旋塗平坦度的解析解[1],這項成果提供了半導體產業一組
公式,很快地就可以算出Isolated Feature[2],Periodic Feature[3],
WindshearEffect[3]光阻平坦度,並且有許多深入之旋塗平坦度的現
象及物理意義的發現。
   
專利介紹
 
  噴頭製作彩色濾光片之製法及噴頭之結構  
一種噴頭製作彩色濾光片之製法及噴頭之結構,係針對利用供墨設備產生微量或中量的注射流體,經由彩色塗料陣......
 
  微元件之散熱模組與方法  
本發明係有關於微熱點直接以相變化熱交換方法進行微元件上之微熱點區域冷卻方式,並輔以 抽氣系統避免腔體......
 
 
  製作彩色塗料陣列式噴頭之方法及結構  
本發明係有關於一種以製作彩色塗料陣列式噴頭之方法,特別是指利用壓電陶瓷(PZT)材料 製作彩色塗料陣......
 
  利用RGB連續噴墨陣列製造彩色濾光片之方法  
本發明提供一種利用RGB連續噴墨陣列製造彩色濾光片之方法,包含步驟:1. 提供一透明基板,具有複數黑......
 
 
  一種微感測片之支撐結構及其成型方法  
本發明係一種用於微液滴蒸發與溫度感測裝置的微感測片,尤指一種可提升結構強度及延長 使用壽命的微感測片......
 
  製作彩色濾光片之條紋式塗佈方法及其結構  
本發明係提供一種製作彩色濾光片之條紋式塗佈方法及其結構,尤指一種可以應用大尺吋彩色濾光片之彩色光阻液......
 


 




國立中央大學 研究發展處 32001 桃園縣中壢市中大路 300 號 TEL:03-4227151 #27076-79
        2008 © NCU All Rights Reserved  著作權聲明
本系統採用專利行銷平台